分享至
TESCAN 發布 SOLARIS 2、SOLARIS X 2 和 AMBER X 2 用于半導體分析
新系統帶來了全自動 TEM 樣品制備、先進的失效分析和用于原位電性分析的精密逐層剝離技術，增強了半導體研發能力。
捷克共和國布爾諾，2024年10月21日——全球領先的科學儀器公司 TESCAN 集團宣布推出三款升級FIB-SEM系統：SOLARIS 2、SOLARIS X 2 和 AMBER X 2。這些解決方案順應半導體失效分析日益增長的需求，為亞 10 納米技術節點及更高端技術提供自動化、精準度和更高效率。
為了進一步深入了解這些新系統，TESCAN 將在2024年10月21日舉辦一場網絡研討會。從 10 月 28 日至 11 月 1 日，TESCAN 的專家也將在加利福尼亞州圣地亞哥舉行的 ISTFA 2024 上，討論這些創新及其在半導體分析中的應用。
TESCAN SOLARIS 2：AI 驅動的 TEM 樣品制備
TESCAN SOLARIS 2 采用 AI 驅動的 TESCAN TEM AutoPrep? Pro 軟件，實現全自動化TEM 樣品制備。該系統專為亞 10 納米技術節點設計，如先進的邏輯和存儲器件備，能夠制備出高質量的薄膜樣品。
主要特點包括：
·?全自動 TEM 樣品制備：AI 驅動的精確控制，以最小的損傷制備出高質量的樣品，支持各種幾何形狀的樣品選擇所需角度切削，包括正切、平面切和倒切樣品薄片。
·?靈活的樣品處理：使用 Triglav? SEM 鏡筒，實現高分辨率終點探測，適用于 GAA 和 FinFET 晶體管等先進器件。
·?用戶友好的操作：自動化工作流程減少設置時間，優化系統準備，確保各經驗水平用戶都能高效高質量制樣，提高生產力。
TESCAN SOLARIS X 2：無鎵污染?TEM 制備和先進的失效分析
TESCAN SOLARIS X 2 氙離子 FIB 鏡筒升級為?Mistral??鏡筒，擴展了物理失效分析的能力，為復雜的半導體封裝提供大面積橫截面切割和無鎵污染?TEM 樣品制備，包括 2.5D、3D 芯片（IC）和微電子機械系統（MEMS）器件。
主要特點包括：
·?大體積失效分析：使用 Mistral? 氙離子 FIB 進行深度橫截面切割，可達 1 毫米深度，觸及深層結構。
·?無鎵污染?TEM 樣品制備：制備高質量的無鎵污染薄片，為先進封裝應用保留樣品完整性。
·?精確的缺陷定位：Triglav? SEM 鏡筒能夠實現納米級精度，有助于在半導體先進封裝中缺陷隔離。
TESCAN AMBER X 2：精密逐層剝離與原位電性分析
TESCAN AMBER X 2 提供精密逐層剝離，實現均勻、無偽影的結果，支持亞 10 納米技術節點。該系統專為電性失效分析而建，允許通過基于掃描電鏡的納米探針進行原位驗證和高效隔離缺陷。
主要特點包括：
·?均勻、無偽影逐層剝離：通過定制的氣體化學成分如 Nanoflat Chase 和 C-maze 實現一致的結果，針對 NMOS 和 PMOS 晶體管進行優化。
·?原位電性分析：掃描電鏡與納米探針的配合，可以在逐層剝離過程中實時診斷電性失效的原因。
·?自動逐層剝離技術：TESCAN Delayering? 軟件自動探測終點，針對特定層進行詳細失效分析。
這些系統旨在應對現代半導體技術的日益復雜性，提高研究人員和工程師進行失效分析的效率和準確性。
線上發布會
深入了解我們平臺的能力，包括深層截面切割、TEM 樣品制備和逐層剝離技術。
標題：《TESCAN 的 FIB-SEM 解決方案在半導體失效分析和研發實驗室中的應用介紹》
注：直播已于10月21日結束，現在注冊可以直接回看視頻，有任何疑問，歡迎聯系我們。
掃碼注冊，回看視頻
?
演講人介紹
Luká? Hladík 是TESCAN集團產品經理，負責FIB-SEM、表征以及逐層剝離/探針解決方案，用于實驗室半導體失效分析研究。捷克布爾諾理工大學物理工程和納米技術碩士學位。曾擔任等離子FIB-SEM平臺的應用專家。他在全球化半導體行業中擁有十多年豐富經驗。
?
關于 TESCAN 集團
TESCAN 成立于 1991 年，從 4-5 名工程師組建的初創公司，現已發展成為一家擁有 700 多名員工的集團，集團擁有5家研發中心、2個生產基地以及8家海外子公司分布8個國家。我們是電子光學儀器的領先者，包括掃描和掃描透射電子顯微鏡（SEM & STEM）、聚焦離子束電子束雙束電鏡（FIB）和 顯微CT（micro-CT），已售出并在全球 80 多個國家運行超過 4000 臺儀器。
TESCAN一直保持拓展勢頭。2013年與法國定制聚焦離子束電子束技術的全球領導者 ORSAY PHYSICS 合并并擴展；2018 年收購了比利時動態micro-CT 技術領域的創新者 XRE；2023年美國凱雷注資TESCAN。TESCAN集團的總部位于捷克共和國布爾諾，我們的大部分儀器都在這里專業組裝、測試，并發往全球客戶。
?
